二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293607516 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是AMAT設計的高性能半導體晶圓處理設備。它是一個集成的綜合解決方案,使制造商能夠提高生產率和最大限度地提高產量。AMAT CENTURA系統在一個平臺中結合了多個過程步驟，允許對各種材料和基材進行可重復和可控的處理。先進的單位允許綜合計量和檢查能力和過程可重復性。該機還配備了各種功能，可用於測量溫度、壓力、流量、電壓和電流等性能參數。APPLIED MATERIALS CENTURA與所有光刻系統兼容。晶圓處理反應室包括一個蝕刻劑、路由、電化學沈積（ECD）、擴散和RTP（快速熱處理）。該腔室的設計允許快速、可靠和可重復的結果對任何晶圓大小和形狀。該工具的另一個主要組件是晶圓映射站，它允許根據晶圓的應用靈活放置和對齊晶圓。這樣可以準確地映射設備特性,並監控光學和電氣測試期間發生的任何變化。CENTURA的Etch和Diffusion功能允許高效去除不需要的層材料,從而實現過程的均勻性。電化學沈積（ECD）能力使得金屬和金屬氧化物能夠形成均勻的圖樣。快速熱處理（RTP）室允許基板快速退火。ECD室還具有較高的金屬沈積速率，減少了工藝時間，提高了產量。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種獨一無二的集成晶圓處理解決方案。該資產將生產運行期間的總體風險降至最低,並能夠在確保像素均勻性的同時提供可靠的結果。該反應堆用途廣泛，效率高，適用於半導體制造的廣泛應用。
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