二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293614967 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。這種類型的反應器用於將材料的薄層沈積在各種基板上，如半導體和其他電子元件，用於制造集成電路、光伏電池和其他器件。AMAT CENTURA被設計為一種生產、靈活、高性能的反應堆，提供卓越的材料沈積能力。它利用堅固的遠程等離子體源（RPS）來產生高反應性和清潔的等離子體,並能夠轉換多種化學和工藝參數。APPLIED MATERIALS CENTURA有一個真空容器，設計有創新的、易於使用的感應耦合等離子體（ICP）源。它提供了可自定義的，高度均勻的等離子體參數跨基板均勻沈積。射頻連接的優化設計、射頻調諧電路和天線縮放都通過降低頻譜噪聲和保持均勻的等離子體穿過感受器提供了出色的等離子體調諧。通過實現精確的電源和電流控制,ICP源可以有效地消除基板充電並消除濺射現象。CENTURA的主要特點是能夠制造出多種摻雜劑濃度和化學前體的材料，為材料工程和設備制造提供更大的靈活性。PECVD系統能夠生產出一系列材料，如單晶SiGe合金、稀土氧化物和薄薄的二氧化矽層，具有精確和可重復的摻雜能力。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA還配備了快速熱擴散分離器和快速熱外延反應器，能夠進行摻雜物交換和減少設備處理的缺陷。在加載和溫度控制方面,AMAT CENTURA提供了一組獨特的功能。其集成的負載鎖定盒式磁帶能夠進行高溫操作，能夠在最多五個基板上保持高均勻性。采用低調設計，系統簡單易用，采用自動化基板傳輸系統，可快速裝載和加工基板。APPLIED MATERIALS CENTURA是一種先進的PECVD反應器，結合了可靠的性能和廣泛的沈積能力。其創新功能提供了無與倫比的靈活性和性能,而其優化的設計降低了維護成本,節省了時間並提高了吞吐量。因此，在需要速度和高質量沈積工藝時，CENTURA是先進設備制造的理想選擇。