二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293619653 待售
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ID: 293619653
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Etcher, 12"
EFEM
MP 40B-GL ADVANCED THERMAL Chiller
(3) Workstations
(3) Chambers (A, B, C)
AC Rack
Front panel
Pump
Pallet
Cable
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一個高性能、多用途的等離子體反應系統,旨在支持先進材料的持續創新和生產。這種反應器使電介質、金屬、聚合物和有機層以及多層組件和塗層的加工能夠在一次操作中進行。它提供一系列高溫、高性能的等離子體清洗、處理和各種材料的沈積。AMAT Centura Enabler提高了吞吐量和可靠性,改進了流程一致性和流程控制。它具有集成的等離子體源、演示的真空系統以及提供更高整體處理效率的功率效率。此外,Enabler具有開放式框架設計,便於輕松加載和檢索工件,並具有易於自動化的潛力。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的最高加工溫度可達1000 °C,允許使用無觸摸PECVD、揮發性金屬CVD、熱蒸發以及聚合物和介電膜的沈積和蝕刻等工藝。反應堆還使不同沈積過程在同一基質上的組合產生多層結構。此外,它還支持具有可變成分調制(VCM)的過程,從而在沈積過程中改變沈積材料的組成。Centura Enabler可在廣泛的溫度範圍內以高速率實現均勻沈積,非常適合精密塗層應用,包括硬質塗層、密封、封裝和擴散。此外,它還可用於真空爐系統,如AMAT多室系統,以實現濕法和幹法,並簡化復雜的工藝序列。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler配備了雙熱/冷壁射頻等離子體,使用戶可以在不同溫度範圍內優化沈積質量、均勻性和速率。其先進的傳感器、溫度控制器、精密的電源和智能的過程控制系統可提高過程控制和操作精度。此外,安全和維護監控有助於確保可靠高效的工作環境,而且最終用戶友好的用戶界面允許用戶快速輕松地調整配方和參數。總之,AMAT Centura Enabler是一種堅固可靠的反應堆,旨在為各種塗層和材料層提供高溫、高性能和多用途的等離子體工藝。APPLIED MATERIALS Centura Enabler提高了吞吐量和可靠性,改進了過程控制和一致性。因此,它是實驗室和制造環境尋求開發先進塗料和材料的有用工具。
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