二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293622689 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種高性能蝕刻反應器,旨在使半導體器件制造和生產中的細線特征沈積。AMAT Centura Enabler利用Advanced Energy-control技術和E-beam技術實現了更快的工藝時間和對基板上層沈積的高度控制。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的Advanced Energy-control technology is based on a focused electron beam which is used to activate the reaction site and control the energy delivery to the substriate, succcess of decession of decession這項技術還提供了出色的總刀具吞吐量,允許進行低成本批處理以實現最大的工藝正常運行時間,並且可以支持多種應用程序,從低成本生產到超精細生產。Centura Enabler中使用的電子束技術是電子束蒸發的一種形式,在基板表面上產生一個大的、均勻的、均勻的等離子體帶。電子束產生的等離子體帶均勻性和均勻性保證了層材料在基板上的均勻沈積,消除了微缺陷、不可接受的化學反應、薄膜厚度不均勻等常見加工問題。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler還提供了對蝕刻工藝的高精度控制。其先進的氣流控制系統允許對等離子體參數進行微調,確保用最小的殘留物實現所需的蝕刻量。AMAT Centura Enabler的蝕刻工藝產生的電離粒子可以微調至幾納米以內,進行精確且均勻的蝕刻。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的能力和出色的工藝控制使其非常適合半導體器件制造和生產的廣泛應用。其先進的能量控制和電子束技術使高通量生產具有優異的產量,而不會影響基板的完整性或工藝產量。通過實現更快、更均勻、更準確的層沈積,Centura Enabler是高質量、高性能設備制造和生產的理想選擇。
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