二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293624204 待售
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ID: 293624204
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Etchers, 12"
EFEM
Process: Oxide
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber enabler
(1) Generator rack
AC Rack (CVCF, UPS)
TM Module with VHP Robot
RF Rack (ENI B5005, GHW 50A)
Side storage
parts included
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,用於制造半導體集成電路。AMAT Centura Enabler旨在提供過程靈活性和極其先進的溫度控制。它支持最先進的CVD工藝和材料,實現了非凡的薄膜均勻性以及強大的性能和加速性能。APPLIED MATERIALS Centura Enabler采用了一種獲得專利的均勻沈積技術,該技術便於保形和完全覆蓋極其復雜的介電堆棧。它擁有先進的多區溫度控制系統,允許反應堆不同區的溫度不同。這樣可以實現卓越的薄膜均勻性和控制性,以及同時獨立運行多個進程的能力。Centura Enabler具有創新的過濾系統,可過濾所有工藝副產品,從而獲得最高的清潔度和產量結果。這對於在晶圓表面實現非常薄的層沈積特別有用。過濾系統的設計也是為了盡量減少沈積前體的數量,從而提高產量。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler的設計非常可靠,能夠減少停機時間。它是由高級不銹鋼建造而成,提供卓越的耐腐蝕性,並使其適合大批量生產設施的嚴謹。它還提供了易於維護和維修的訪問,以及使故障排除變得簡單的內置診斷系統。總體而言,AMAT Centura Enabler是一個頂級的CVD反應堆,可提供高級工藝靈活性、溫度控制和精密過濾功能。它能夠提供卓越的效果,並提供令人印象深刻的可靠性和可維護性。
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