二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293649931 待售
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ID: 293649931
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種磁場輔助等離子體物理氣相沈積（PVD）反應器，設計用於薄膜沈積。Enabler采用冷壁射頻磁控管工藝設計,無需熱源,使其能夠在較低的加工溫度下生產高質量、無缺陷的薄膜。它具有廣泛的沈積速率，每個沈積周期可以從幾埃到幾微米進行處理。AMAT Centura Enabler具有高性能、低功率的射頻發電機和緊湊、可調的射頻天線盤。高頻射頻發生器和可調節射頻天線盤的組合，可以對物理氣相沈積過程進行精確控制，並提供對可用等離子體功率的有效利用。發電機可以產生一系列功率水平，低至幾瓦到幾百瓦，從而可以精確控制沈積過程。此外，可調節射頻天線壓板使用戶能夠根據所沈積的特定材料來調整射頻天線的位置和方向。APPLIED MATERIALS Centura Enabler還配備了先進的監控、控制和安全系統，允許用戶實時調整流程參數，優化均勻性和可重復性。監測系統還記錄各種工藝條件，以便對沈積性能進行詳細分析和核實，協助進行故障排除和維護活動。Centura Enabler的先進設計和光學允許廣泛的沈積技術，包括化學氣相沈積（CVD）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和原子層沈積（ALD）。這些技術允許沈積一些技術要求最高的材料，包括金屬氧化物、納米結構碳和高表面能材料。Enabler還可以配備氣體輸送系統，允許用戶在一個過程中混合和沈積不同的材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一款用途極為廣泛的工具,它提供了廣泛的特性和功能,使其能夠以可靠和可重復的方式處理某些最先進的材料。通過利用現代等離子體沈積技術,Enabler可以幫助創建當今技術中使用的一些最復雜的材料。
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