二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293652600 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一個高通量、多室的加工站，用於處理光刻膠或基材材料。它用於許多需要精密加工的行業，如半導體、醫療器械、薄膜塗層、航空等。該站由一個封閉的不銹鋼外殼組成，並配有一個桌子，或基板級，以及四個獨立的加工模塊。每個模塊都配有各種控制部件，可以包含多種不同類型的設備，從泵和噴射器到反應堆、攪拌機和蒸發器。這些模塊是可編程的,可配置用於多個過程,包括沈積、蝕刻和清潔。每個模塊還配備了安全關閉閥，使其適合用於危險材料加工。AMAT CENTURA的表為各種基材尺寸設計，可以容納不同形狀和材料的晶片，包括石英和矽。該表還有一個可調節的加熱器，溫度控制傳感器，以及在加工過程中用於基板安全抓地力的真空卡盤。晶圓座可以調整以適應不同尺寸的晶圓。該表可以傾斜以提供一定範圍的沈積和蝕刻角度。為確保基板表面的均勻性,APPLIED MATERIALS CENTURA還具有可調旋轉系統。每個模塊包含一個真空室和一個真空泵系統，以及一個用於將氣體引入加工室的入口閥。進氣閥控制氣體在加工室內的流動和分布，確保過程的均勻性。氣體分布通過腔內壓力映射進行監測。真空室采用不銹鋼結構，內襯耐化學陶瓷，營造出低壓、無氧的環境。這種環境允許許多不同的過程，包括沈積、蝕刻和清潔。CENTURA還有能力整合額外的監控系統，如X射線工具或工藝氣體分析儀。車站還設有5級潔凈室功能，適合處理有害物質。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA通過集成先進的工藝監測、分析工具和自動化，是一種高效且用途廣泛的處理光刻膠或基材的反應器。它結合了可靠的組件、高模塊化和低維護成本,為各種行業提供了經濟高效的解決方案。