二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293751886 待售

ID: 293751886
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
CVD System, 12" Process: BD / SICOH Etch / Dry etch Size: 32 nm OS: WindowsXP 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種用於制造半導體器件的高性能物理氣相沈積(PVD)反應器。AMAT CENTURA是一個單晶圓反應器,意味著它能夠一次處理一個晶圓。應用材料CENTURA使用多種沈積方法和工藝將材料沈積在半導體晶圓上。沈積方法包括熱蒸發、濺射沈積、化學氣相沈積(CVD)和脈沖激光沈積(PLD)。CENTURA的設計目的是在不影響其質量的情況下以高通量持續沈積均勻的物料層。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器室由不銹鋼制成,由電阻加熱元件加熱。它是一個超高真空室,底壓在10-7 Torr以下。它具有快速熱循環的能力,能夠快速沈積和退火晶片上的材料。AMAT CENTURA還配備了電荷遏制技術,確保電子和離子不會從腔室中逸出,汙染晶圓。這樣可以防止晶片被可能影響其性能的雜質汙染。APPLIED MATERIALS CENTURA是一種通用工具,用於制造各種半導體晶圓。它被用於晶圓上的鈷、銨、的、鎢、對苯二酚、鈦等沈積材料。它還能夠加工多種材料,包括金屬、氧化物、氮化物和聚合物。除物理氣相沈積外,CENTURA還可用於進行原位蝕刻和清洗過程,以進一步細化晶片表面。它還能夠進行原位解吸和反射高能電子衍射(DRHEED)。這些信息有助於更好地了解材料暴露在一定溫度或壓力下的行為。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種高度先進和可靠的PVD工具,被許多行業用於生產晶圓。它的靈活性和性能使其成為為各種應用生產高質量晶片的理想選擇。
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