二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767050 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一系列專門為半導體器件制造而設計的單晶圓化學氣相沈積（CVD）反應器。CVD系統提供了一個通用平臺,可以配置為執行各種過程,包括沈積、蝕刻和脈沖等離子體沈積。AMAT CENTURA的增強設計提供了同類產品中最高的吞吐量和最低的運營成本。應用材料CENTURA系列CVD反應堆的設計旨在改進單晶圓CVD設備的基本設計。該系統平臺提供了可靠且經過驗證的設計,適用於各種流程應用程序。CENTURA由幾個部件組成，包括一個加熱的單晶片敏感器、一個用於反應氣體的噴射器和一個真空室。磁感器是沈積過程中支撐和加熱晶片的CVD單元的一部分。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA利用一種獨特設計的敏感器，配有分布式加熱元件，平均加熱基板。這種感光器可以達到高達1000 °C的溫度，允許更高的沈積速率和更均勻的薄膜質量。氣體輸送機是用於向工藝室輸送反應性氣體的機構。AMAT CENTURA利用了一種創新的氣體噴射器-稱為A-Plume-它由一系列沿加工室長度延伸的同心空心管組成。反應性氣體通過這些管子註入，並通過一系列精心設計的擋板進入加工室。A-Plume工具提高了工藝流程的均勻性，提高了沈積速率。工藝室是發生沈積過程的外殼。APPLIED MATERIALS CENTURA利用雙鉸鏈升降蓋,可在需要時訪問感知器。該腔室采用三級抽水設備，利用渦旋和渦輪分子泵。這樣可以在相對較短的時間內實現高度真空。CENTURA系列CVD反應堆是半導體器件制造的強大工具。該平臺的獨特功能提供了可靠、可重復的過程控制和卓越的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA能夠對CVD工藝的空間和溫度沈積特性實現精確的可控性。這就導致了任何類型的薄膜的高屈服率和低缺陷密度.
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