二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767195 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一種高性能反應器,為薄膜沈積和濕蝕應用提供強大的工藝能力。它結合了AMAT標準流程模塊配置和高級功能,使用戶能夠優化流程以提高生產效率和精度。AMAT CENTURA是一種單一晶圓、等離子體增強、化學氣相沈積（PECVD）設備。它利用變頻和直流電電源使各種半導體材料的薄膜沈積成為可能。APPLIED MATERIALS CENTURA有五個工藝模塊-三個等離子體蝕刻室、一個蝕刻/帶狀室和一個沈積室-每個都有可調節的高度、間距和傾斜度,以確保統一的工藝結果。CENTURA的等離子體蝕刻室設計用於提供光刻膠、金屬層和其他材料的高性能蝕刻。他們使用射頻（RF）等離子電源產生蝕刻所必需的等離子。蝕刻/帶狀腔室可以同時蝕刻和剝離光刻膠和有機物。它配備了可調節的氣體輸送系統，可以幫助優化蝕刻劑的蝕刻速率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA的沈積室是進行薄膜沈積的地方。它配備了雙頻射頻發電機，為磁控管同軸直流電源提供動力，用於高精度的薄膜厚度控制。它也有一個反應性RF-DC偏置單元，提供晶圓表面的均勻偏置。偏置機也可用於啟用串聯處理。AMAT CENTURA除了具有高性能的工藝功能外,還具有先進的安全功能,例如隔離的等離子體隔板、通風口工具和全面的聯鎖裝置,以幫助保護用戶免受潛在危險的暴露。總體而言,APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一項功能強大的高性能資產,旨在為用戶提供用於薄膜沈積和濕蝕刻應用的優化解決方案。其可定制的工藝模塊、精確的薄膜厚度控制以及全面的安全系統，使其成為尋求最大性能和穩定性的用戶的理想選擇。