二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9026986 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是來自AMAT的高通量化學氣相沈積（CVD）反應器。它是一種功能齊全的工藝工具，用於低介電層材料的沈積，如SiO2、SiN、SiOCH。CVD工藝的能力不限於SiO2沈積，但也可用於多種其他材料的沈積，如聚Si、聚SiGe、TaN等。AMAT CENTURA反應堆具有直徑可達20英寸的大型低真空室。它的兩個熱區可以獨立調整，允許在整個基板上均勻沈積。為最大限度地提高流程吞吐量，最大限度地減少產品循環時間，該設備采用高容量氣體分銷商設計，用於快速氣體混合和輸送。反應堆裝有熱壁噴射器和冷壁低壓CVD源，用於精確固體源CVD。該系統包括一個線性陣列淋浴頭，具有高達40個面向射頻的端口，這些端口將反應物氣體均勻地分布到晶圓/基板表面。該單元還提供各種晶圓/基板傳輸選項，還包含內部洗滌和清潔系統，允許重復處理，具有極好的可重復性和均勻性。APPLIED MATERIALS CENTURA還配備了一臺堅固的數字控制機器。這允許精確、一致地控制反應堆的溫度、壓力和反應物氣體的流速。CENTURA的現場監控提供了準確的現場表征,這對於確保生成的層厚度、均勻性和質量的可重復性至關重要。APPLICED MATERIALS提供了各種附件和功能，以進一步提高反應堆的性能，如盒式到盒式終端效應器（C2C AE），它允許快速、自動地裝載和卸載基板，以及裝載機、卸載機和泵式過渡模塊（LUT）。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA代表了一種可靠而堅固的CVD工藝工具，用於沈積各種低介電層材料。其廣泛的工藝功能和模塊化配件為用戶提供了對塗層工藝的高級控制,並且可以集成到現有模塊和體系結構中,而無需進行重大基礎架構更改。