二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9040065 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA （AMAT）是一種通常用於半導體制造過程的反應器。它用於各種KLA-Tencor掃描儀配置以及研發工具。本產品構造為具有支撐的高密度等離子體（HDP）室的垂直室反應器。AMAT CENTURA配備了兩級隔離熱區電池和背面冷環供電設備，以提供均勻的溫度，並在腔室更大的區域上分配電力。其內壁塗有鉬膜，以最大限度地提高蝕刻效率。APPLIED MATERIALS CENTURA還具有專門的蝕刻應用，包括深各向異性蝕刻，能夠同時蝕刻正音和負音抗蝕性材料。這是可能的，因為等離子體電源被設計用來精確調整蝕刻速率。其腔室還具有自動溫度補償和溫度反饋控制，以確保等離子體蝕刻過程中的卓越均勻性和準確性。CENTURA反應堆由相對低頻等離子體源供電，具有反應性離子蝕刻（RIE）、離子輔助蝕刻（IAE）、離子束蝕刻和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）等多種氣體狀態。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA能夠對金屬材料進行化學反應和濺射，使其成為生產可打印電路板的絕佳工具。此外,此系統還可以靈活地輕松快速地調整蝕刻參數,以滿足特定應用程序的動態需求。AMAT CENTURA的設計允許擴展現有設備平臺以滿足更高的生產量,並允許對流程進行即時更改以適應不同的應用要求。這種靈活性允許以最小的停機時間和更高的吞吐量快速進行更改。使用APPLIED MATERIALS單元配置選項,用戶可以對腔室進行修改,以獲得更高的吞吐量、更低的蝕刻速率,甚至可以更改不同材料的工藝協議。APPLIED MATERIALS CENTURA是一款可靠耐用的機器,具有一系列安全功能。該單元安裝在不銹鋼外殼中，安全聯鎖和可調節氣體歧管均設計為降低事故風險和保護人員。腔室壁由鋁合金構成，並裝有熱穩定的玻璃蓋板，並包括一個排氣鼓風機以排出任何危險廢物。CENTURA是一種半導體反應器，提供了一系列優化蝕刻性能、控制精度和提高整體效率的特性。它的靈活性和耐用性為各種需要精確蝕刻和濺射金屬源的應用提供了絕佳的平臺。該工具還配備了一系列安全功能，使其成為安全可靠的工具。