二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9057368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA™反應堆是一種適用於各種半導體工藝的高性能、靈活且註重成本的蝕刻工具。其先進的設計和專有技術使AMAT CENTURA反應堆能夠提供最大的吞吐量和精密蝕刻。APPLIED MATERIALS CENTURA設計用於處理各種腔室配置,以滿足不同的生產需求。CENTURA反應堆配備了先進的線性運動驅動器，包括x和y正交對準、速度、加速度和力感測等多個運動參數。這種強大的驅動器使AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA能夠實現並保持高吞吐量。單電池靜電卡盤（ESC）設計允許最小壓力按住，從而優化電子溫度，導致更高的通量。AMAT CENTURA反應堆配備了最先進的氣體輸送和控制系統，使用戶能夠以精確的蝕刻均勻性實現最佳的凈化和蝕刻速率。介電隔離技術最大限度地減少晶圓加熱，提供快速的熱和冷卻，進一步提高吞吐量和均勻性。APPLIED MATERIALS CENTURA采用全視圖、有色視區和內部機器人設計,便於晶圓加載/卸載,增強安全性、多功能性和吞吐量。此外，CENTURA反應堆具有大量晶圓處理能力，如晶圓縮放、定向和處理，以及對壓力、溫度、功率、流量等最關鍵工藝條件的實時監測。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆配備了先進的工藝控制和診斷軟硬件，允許用戶定制操作，對工藝參數進行實時調整，以達到最大程度的均勻性和屈服。這包括專有的SmartManagement軟件,它提供預測性維護和基於觸發的警報功能。總而言之，AMAT CENTURA™反應器是一種先進、經濟實惠的蝕刻工具，可提供最大脈沖模式功率、吞吐量和精密蝕刻，而用戶友好、實時的過程控制和預測維護能力使其成為各種半導體處理應用的理想解決方案。