二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9065058 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是半導體器件制造的高效工具。專為芯片、電路等微電子元件的大批量量產而設計。它為沈積、蝕刻和離子植入應用提供了廣泛的功能。AMAT CENTURA反應堆是一種先進的大型電子設備，可用於單晶片或批處理。它具有強大、高溫、高壓、高真空的工藝室，能夠實現卓越的工藝精度和均勻性。該系統可靠性高，提供+/-1 °C的高精度溫度控制，導致缺陷率低。反應堆也是高度自動化的，可以針對特定的沈積、蝕刻和離子植入過程進行編程。應用材料CENTURA反應堆由幾個組件組成。主室配有RF（射頻）等離子體源和熱源，兩者均用於反應性離子蝕刻（RIE）工藝。射頻源能夠高精度地對電路進行激光燒蝕和蝕刻。熱源在蝕刻過程中在腔室內保持恒定的溫度水平。反應堆還設有負載鎖和冷凍泵，在整個過程中保持高真空水平。CENTURA反應堆還設有氣體輸送裝置，可將氣體和液體精確輸送到反應室中。這臺機器可以通過用戶界面進行控制和監控。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器還包括真空歧管、繼電器公豬和壓力頂鎖,可同時無縫處理多種基板。AMAT CENTURA反應堆配備了最先進的安全特性，以確保操作員安全和產品可靠性得到維護。該反應堆配有電氣和物理安全系統，以及用於快速和安全關閉的緊急停止按鈕。總體而言，應用材料CENTURA反應堆的設計旨在實現高效和精確的半導體器件制造。它提供了各種先進的特性和技術，為沈積、蝕刻和離子植入應用提供了可靠、高精度和可重復的過程。該反應堆適用於單晶片和批量加工，並配有精密的安全特性，確保運行過程中的最大安全性和可靠性。