二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9072602 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種專門的化學氣相沈積（CVD）反應器，為半導體、光伏和顯示市場提供晶矽的薄膜沈積。AMAT CENTURA設計用於在高溫下沈積薄而保形的矽層，產生具有極好均勻性的結晶矽層。這種半導體制造工藝被用於在矽晶片上產生閘門、互連、晶體管和其他電路器件等特性。應用材料CENTURA反應器能夠在350-1,000°C之間達到非常高的溫度，具有高真空水平，以沈積具有高均勻性和可靠性的裝置。CENTURA是一種低壓CVD（LPCVD）工具，是矽沈積的常用方法。這座LPCVD反應堆通過將含矽前體（如矽烷、二氯矽烷或三氯矽烷）和其他反應物送入加熱室運行。在反應堆內，反應物分解重組，利用熱能形成二氧化矽或氮化矽膜層。反應堆內的溫度和壓力使得能夠形成厚度小於10納米的高質量結晶矽膜。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA能夠在200 mm晶圓基板上實現0.3微米以內的局部均勻性和跨基板的出色均勻性。這種高度的均勻性有助於產生具有高設備產量的電線和其他特性。此外，AMAT CENTURA具有很高的通量，能夠快速沈積大量的層，用於太陽能電池、晶體管和其他半導體組件。APPLIED MATERIALS CENTURA的另一個關鍵特徵是它的超低粒子和粒子。反應堆測量的顆粒尺寸降至0.3微米，大大減少了沈積過程中的顆粒數量，使可靠裝置的收率很高，缺陷最小。CENTURA的低顆粒速率也有助於確保產品生命周期的長壽。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA為提供單層和多層沈積提供了高效、統一和高度可靠的制造工藝。這種業界領先的CVD工具使半導體行業的制造商能夠實現當今不斷縮小的幾何形狀和設備尺寸所需的高精度和可重復性能。