二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9082524 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是一種高效和精確的物理氣相沈積（PVD）工具,旨在提供可靠和可重復的薄膜沈積過程。它是同類中最先進的系統之一，典型地用於半導體工業中，用於沈積材料，如氮化鈦、砷化氙和用於裝置制造的鋁。該設備由四個主要組件組成：等離子體源、感光器、晶圓處理系統和控制器。AMAT CENTURA的等離子體源是300 mm光譜源，能夠沈積介電和金屬薄膜。它能夠產生低壓、高頻電場，然後電離形成密集的反應物氣體等離子體雲，用來濺射目標材料，制造薄膜。該單元還與多種氣體兼容，包括氮氣和氧氣，可用於控制薄膜性能。機器的磁感器是一種先進的元件，用於在沈積過程中支撐和加熱晶片。它由鉬塗層石墨板組成，配有一套獨特的加熱器和控件，以保證晶片的均勻溫度，最大沈積效率。APPLIED MATERIALS CENTURA的晶片處理工具是一個高度自動化的機器人模塊，負責將晶片從彈匣裝入反應室中，並在薄膜沈積後卸載。它旨在實現晶片的快速、精確的裝卸，以優化吞吐量。最後，資產的控制器負責控制PVD過程的各種參數。還用於監測和調節基板溫度、氣體流量、晶圓位置、射頻功率等工藝變量。這樣可以確保參數保持在最佳的沈積範圍內。總體而言，CENTURA是一種非常先進的薄膜沈積模型，它為設備制造提供了可靠和可重復的薄膜沈積工藝。它配備了多種組件和功能，以確保最大性能、效率和精度。利用其先進的控制器設備，能夠控制沈積過程的各種參數，確保優異的效果。