二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9104375 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是為半導體器件制造而設計的最先進的工具，提供受控、均勻的蝕刻和沈積。該工藝室設計有封套石英管密封防止氣體逸出，以及創新的基板支撐系統。這有助於在蝕刻和沈積過程中保持較高的清潔標準。AMAT CENTURA配備了先進的機器人控制晶圓傳輸系統，使其在蝕刻沈積過程中能夠精確地將晶圓往返於腔室。這確保了沈積材料的最大精度和控制。APPLIED MATERIALS CENTURA還具有可調節的精密氣體噴射系統，能夠精確控制蝕刻氣體和沈積材料。CENTURA還能夠使用多種CVD工藝沈積多種薄膜，包括低壓CVD、高壓CVD和高氣密。這可用於沈積薄至10nm和0.1nm的薄膜。根據工藝不同，反應堆可以達到高達200毫米/分鐘的沈積速率。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA也可用於退火和回流工藝，使其與各種其他制造工藝結合使用。它旨在最大限度地減少過程中基板的失真，這將確保一致和高質量的性能。此外,AMAT CENTURA可以配置為用於蝕刻晶圓和掩碼應用程序。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆還設計了一個先進且用途廣泛的源櫃，能夠嚴格控制工藝條件。它包括可調氣體預熱器和冷卻器系統，以及對多個供氣通道的獨立控制。而且，源櫃可以配置額外的排氣和真空系統，以提供對蝕刻選擇性和原子成分的最大控制。總體而言,CENTURA是一種高精度、可靠和靈活的工具,可為制造商提供滿足其技術挑戰所需的精確度和控制,從而確保他們獲得性能最高的產品。