二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9116528 待售
網址複製成功!
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是一種先進的半導體器件制造材料沈積系統。該系統用於在半導體晶圓表面上鋪設薄膜材料,從而形成電路、晶體管和集成電路的其他關鍵部件。AMAT CENTURA反應堆由幾個部件組成,包括水平網旋轉器、等離子體發生器和發電機支架、等離子體電源、真空室和負載鎖。水平網旋轉器旋轉一個薄的半導體網,然後加載到負載鎖上並放置在真空室中。在真空室內部,使用先進的基於等離子體的工藝,用薄膜材料包覆了網。等離子體發生器產生了一個等離子體,它是由的,氮和氧原子組成,然後在高溫和高壓下被引導到網絡上。等離子體中的負離子隨後與網上的材料相互作用,形成薄膜層。通過改變反應性氣體和操作條件,可以在薄膜層上進行沈積、氧化、合金化等過程。等離子體發生器還可用於用臭氧或高能等離子體處理網狀物,以清潔晶圓表面,並在薄膜層施加之前或之後去除任何無關的顆粒或汙染物。等離子體在過程控制方面也有很大的靈活性,可以用來執行不同方向的步驟。這允許更精確的過程控制,這對於設備制造至關重要。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆配備了先進的ControlLogix軟件,允許調整工藝參數,如功率設置、氣流和真空設置,以滿足所需的工藝要求。軟件還記錄過程中的數據,以便用戶可以分析結果並排除可能出現的任何問題。CENTURA反應堆是半導體器件制造的寶貴工具,因為它能夠實現更高的精度、更高的吞吐量和更快的處理速度。憑借先進的技術和工藝控制特點,成為半導體制造業的關鍵組成部分。
還沒有評論