二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9121573 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是AMAT建造的大型、多用途、生產規模的半導體制造反應堆。該設備旨在滿足半導體行業對高精度和高產元件日益增長的需求。該系統包括最先進的技術和一套獨特的功能,以確保卓越的生產性能。AMAT CENTURA反應堆建在砷化零（GaAs）平臺上，能夠製造最大3.5英寸大小的虛擬晶圓。它能夠生產用於集成電路結構、薄膜和高密度互連（HDI）基板的超精密元件。該單元旨在為深層反應性離子蝕刻（DRIE）和物理氣相沈積（PVD）層提供全部功能。該機的關鍵特點是其高占空比、優良的材料特性和出色的工藝控制。其高速生產能力使其能夠快速制造零件並縮短半導體制造的運行周期時間。其離子和光子束加工能力使其能夠達到業界所需的高精度。它還能夠輕松適應各種流程配置,並且可以快速重新配置以滿足需求。該工具還可以提供完整的一套工藝控制能力，包括對參數的實時監控和報告，基板配準和放置，顆粒控制，腔室壓力和真空清潔，腔室輪廓感測，工藝參數優化。此外,該資產還具有廣泛的自動化選項,可有效地處理流程變更和提高吞吐量,以及快速可靠的產品制造配方庫。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆旨在滿足最高質量要求並提供可靠性和精確度,同時提供更高的吞吐量並減少與手動過程相關的代價高昂的時間延遲。該模型非常適合生產高性能、高分辨率、高可控性和可重復性的納米結構。