二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9146407 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是制造先進半導體器件的高性能反應器。它旨在高效地創建具有卓越均勻性和超低缺陷率的復雜的超薄材料層。這使得AMAT CENTURA對於新半導體技術的研發以及現有技術的大規模生產都是最佳的。APPLIED MATERIALS CENTURA的功能始於其高級設計。它有一個模塊化的加工室，並能融入各種各樣的排氣系統。這使得它可以用於許多不同的生產工藝和基板，如矽片和平板顯示器。CENTURA還配備了先進的編隊控制設備和通用卡盤設計。這使得它能夠精確控制各種工藝參數，如溫度、壓力和沈積速率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA還配備了先進的工藝管理系統。這使得存儲和召回來自多個來源的流程配方成為可能,從而使其能夠從一個流程配方快速切換到另一個流程配方。此外,它還能夠實時監視各種過程變量,以確保最佳性能。AMAT CENTURA的核心是其低壓感應耦合等離子體（ICP）源。該等離子體源由電子回旋共振（ECR）等離子體源和磁線圈單元組成。ECR源產生了一個高濃度的等離子體源，氣體消耗低，並且在基質上的汙垢沈積極少。磁線圈機包括一個射頻腔，允許等離子體中離子的均勻分布和高密度。這樣可以確保在整個基板上均勻沈積。然後,APPLIED MATERIALS CENTURA配備了燈絲發射監控器（FEM）。這樣可以檢測和監測ECR等離子體的電流和溫度，以確保最佳工藝性能。此外，CENTURA還具有自動晶片傳輸和可拆卸晶片船的功能，允許快速高效的晶片裝卸。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA是一種特別先進的反應堆,其設計目的是滿足制造質量、性能、可重復性和缺陷率最高的先進材料的精細和纖細層的最具挑戰性的要求。憑借其先進的設計和能力,AMAT CENTURA是當今最先進的半導體技術的研發和批量生產的理想工具。