二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9157220 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA®反應堆是一種先進的半導體制造設備，用於制造用於生產計算機芯片、集成電路和其他精密設備的微電子電路。AMAT CENTURA®是一種高效、自給自足的反應堆設備，它將幾個不同的處理室和環境合並成一個單件半自動設備。反應器由三個主要部分組成：主要過程發生的主室、預處理室和溫度控制室，以及後處理室和輸出室。反應堆的核心是主室，它包含了多種高能等離子體源，如射頻或微波產生的等離子體，並進一步包括離子源、靶源和底物源（晶片），以達到理想的處理結果。底物源用於加載和卸載晶片，而離子源配置離子類型、離子能量和離子通量，以優化蝕刻、沈積和拋光。目標源提供金屬靶標，在化學氣相沈積過程中作為多種材料的來源。預處理室用於化學清洗、金屬蝕刻、熱蝕刻和表面活化等多種過程，而溫度控制室則用於在主室內主加工前後精確控制目標和基板的溫度。溫度控制室是APPLIED MATERIALS CENTURA®反應堆系統的一個特別重要的組成部分，因為它允許最佳蝕刻、化學氣相沈積、擴散或光刻工藝。後處理室用於氣體清洗、熱處理和最終鈍化。此外,CENTURA®反應堆單元采用高級控制機器,以確保從一個進程運行到下一個進程的精確、可重復的性能。此外，反應堆設計為模塊化，操作靈活，使其能夠適應不斷變化的應用。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA®反應堆經過專門設計,是一種可靠、高效和高度可配置的工具,可滿足半導體制造行業的苛刻需求。其先進的等離子體源、溫度控制能力、精密的氣體管理工具以及多用途的模塊化設計，使其成為研究和生產應用的理想平臺。