二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160524 待售

AMAT/AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA是一種先進的幹蝕刻反應器,旨在為半導體制造商提供卓越的工藝性能、環境安全和降低成本的好處。該反應堆利用業界領先的技術對單層和多層結構進行蝕刻、各向異性蝕刻和深度蝕刻，精確度和可靠性都非常高。該設備采用耐用的不銹鋼車身，耐腐蝕性強，其低功率要求、傳感器控制的工藝控制、高吞吐量能力以及可選的工藝監控功能，確保高效運行和準確結果。AMAT CENTURA配備了先進的蝕刻技術，包括超高縱橫比（UHAR）蝕刻能力以及雙頻電源。這樣,對於難以蝕刻的材料,可以在深層蝕刻和更大的工藝窗口中實現卓越的性能。該系統還包括一個超快速快門單元，減少蝕刻時間，提高工藝吞吐量。此外,獲得專利的靜電卡盤（ESC）技術可實現最佳平面化,並防止在加工過程中對晶片造成X射線損壞。APPLIED MATERIALS CENTURA具有可選功能,例如用於晶圓快速氧化和氮化的PECVD模塊和用於提高氧化物蝕刻均勻性的高級模塊。該機器還具有高級晶圓映射功能和過程監控功能，允許直接可視化蝕刻輪廓和過程歷史。此外,CENTURA能夠立即檢測過程問題,從而可以立即采取糾正措施。為確保最高級別的安全和可靠性，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA配備了閉環氣體輸送和控制工具、晶圓級蝕刻工藝的自動化均勻性校正資產以及用於保持關鍵工藝參數準確性的集成過程控制模型。該設備還包括一個集成的等離子體診斷系統，以幫助提高蝕刻性能，以及支持先進的過程分析來檢測錯誤或過程的不穩定性。最後,AMAT CENTURA的設計既方便用戶又經濟實惠,其自動化的過程控制、易於使用的編程和維護選項使該設備非常適合短期和長期生產運行。在配合出色的工藝性能和可靠性的情況下,APPLIED MATERIALS CENTURA是任何尋求幹蝕反應堆技術的半導體制造商的理想選擇。