二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9166445 待售

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ID: 9166445
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是一種先進的高性能半導體沈積工具,主要用於生產高科技、高性能和高密度集成電路。該工具利用高真空處理,使用創新的動態控制工藝將所需的物料層沈積到基板上。AMAT CENTURA反應堆使用一系列原料將一系列所需的材料,包括電介質、氮化物和金屬氧化物,沈積到基板上的各個位置。原料線儲存在一個容器或一個散裝罐中,在沈積過程中從該容器向基材提供均勻的材料。此外,該工具還具有提高沈積均勻性和提高特征分辨率的優點。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆的設計提供了高度的靈活性,允許沈積各種底物、材料和工藝。它適用於一系列配置,例如,溫度範圍、壓力範圍和基板尺寸。它提供了一系列高級功能,可實現流程自動化、準確監控流程參數以及高效、可靠的操作。反應堆還結合了多種診斷工具,提供詳細的工藝表征數據,包括溫度和壓力監測、基板沈積分析、表面表征、圖像分析以及先進的設備診斷。這樣就可以對流程進行高級控制,並提供高水平的可靠性。CENTURA反應堆提供創新的過程控制系統,以確保最高質量和可靠性。該單元能夠提供無與倫比的實時流程監控以及自動化流程控制。此外,該機器還支持各種應用程序開發工具,以及其自己的高級專有過程控制技術。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器是一種功能強大的先進沈積工具,為高技術、高性能和高密度集成電路的沈積提供了一系列特點。該工具配備了多項高級功能,包括柔性基板處理、過程自動化、過程表征和高級過程控制。此外,該工具還提供了一個全面的診斷包,允許進行詳細的監控和過程調整。
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