二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9167547 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是用於制造各種薄膜基器件的標準反應器。它是當今半導體制造作業中最先進、最常用的反應堆之一。AMAT CENTURA反應堆設計用於高容量半導體加工，在500°至900°攝氏度的溫度下運行（視工藝要求而定）。它利用多個流程室,使各種流程步驟能夠在單個工具中完成。它可以支持多種工藝化學，包括PE-CVD、濺射沈積、蝕刻以及金屬沈積和清潔。反應堆設計有兩個不同的部分：腔室組件和自動化設備.燃燒室組件由作為反應堆燃燒室主要部件的燃燒室組件如分體式噴頭、感光器插件、基板傳遞臂和沈池室組成。自動化系統由過程控制器、EPC（電可編程反應堆）控制單元和其他過程監控組件組成。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆配備了最新的過程控制軟件，提供實時的過程參數控制和數據跟蹤。該單元能夠運行各種半導體過程，包括物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）。它還支持各種蝕刻工藝，以及金屬沈積。此外，還配備了快速排氣機和超壓安全特性。CENTURA設計簡單但堅固,可確保延長使用壽命和高質量的處理性能。它配備了可靠、高效的過程控制工具，能夠準確、精確地執行復雜、重復的過程控制任務。通過調整流程參數和數據記錄選項,可以輕松配置資產以適應不同的流程要求。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆優越的設計和集成特性使其能夠提供可靠和精確的處理結果。其易用性和靈活的過程控制系統使其同樣適用於低批量生產或大批量生產環境。該反應堆能夠以極好的精度和可重復性處理大量復雜的陣列任務。總體而言,AMAT CENTURA是一種功能強大且用途廣泛的工具,非常適合半導體處理應用。