二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9170825 待售
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單擊可縮放
ID: 9170825
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
CVD System, 8"
(4) Chambers
Type: Microwave
WSIX Optima
Fab interface: Front panel and GEM MCC
Load lock option: NBLL With 90° tilt out
Standard wafer mapping
Wafer sensor: Wafer out of cassette sensor (NBLL only, includes cass present sensor)
Manual transfer Ch hoist
Robot type: HP
Robot blade type: Metal (CES)
Vacuum facilities: Back end
Chambers A, B, C and D:
Chamber type: WxZ
Chamber process: WCVD
Endpoint
Standard TV
Standard Lid
Chamber E:
Type: Orienter
Chamber F:
Type: Cool down
Multi-slot cool down
OPTIMA System controller
Power service: Top
Monitors: TTW
System robot: HP
Gas panel type: Seriplex
Gas panel enclosure, 29"
G.P Facilities: Bottom feed SL (CES)
G.P Exhaust: Top
Gas line filters: Mott
BROOKS 6256 MFC
Backside cooling: Chamber A, B, C and D
Clean type: Microwave
(2) EMO's Mainframes
(2) EMO's Controllers
MF Exhaust: Top
Power service: Top
MFC Gasses:
Position A:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position B:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position C:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position D:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Missing parts:
SBC Board
VGA Board
Floppy Disk Drive (FDD)
Center find board
Chamber E encoder motor
Chamber lid cover (All chamber)
ORIENTE Interface board and CCD board
Power supply: AC 208 V, 3 Phase, 320 A, 60 Hz
2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是制造集成電路（ICs）的高度通用和技術先進的反應堆。它專為改進超大規模集成電路（VLSI）和其他先進工藝技術的生產而設計。AMAT CENTURA反應堆具有獨特的設計，允許用戶將廣泛的技術融入組裝過程。它基於模塊化體系結構,利用一組模塊化平臺幀自定義設置。這使用戶能夠快速準確地將多個不同的流程步驟集成到設備中。該系統非常用戶友好,使工程師能夠在幾分鐘內輕松開始制造過程。它還為工藝開發和新技術原型設計提供了一個平臺。該機組的核心是一個先進的多區反應堆，便利了廣泛的過程。它能夠進行幹蝕刻、濕蝕刻、沈積和濺射過程。反應堆的多個熱區還允許在不同溫度下整合多個制造工藝。反應堆還有一個內置的計算機控制溫度控制器，這樣每個溫度區都能被精確控制。該機器還具有若幹安全功能，旨在確保該過程以安全的方式進行。它有一個帶有氮氣凈化工具和安全閥的壓力服務模塊，旨在確保反應堆內部的壓力在可接受的限度內。此外，資產有內置離子源和離子植入器。這允許用戶執行各種離子植入過程，用於修改正在制造的IC的電性能。該模型還包括幾個自動化選項。這包括一個自動采樣和收集設備，一個安全面板來監控過程，以及一個易於使用的配方系統。綜上所述，APPLIED MATERIALS/APPLED MATERIALS CENTURA反應堆是一個功能強大、用途廣泛、技術先進的集成電路制造單元。其獨特的設計允許結合多個工藝步驟，其安全特性確保機器安全可靠。
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