二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9196871 待售

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ID: 9196871
晶圓大小: 8"
Radiance chambers, 8" With peripherals.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,常用於半導體工業,將高品質的保形膜沈積在基板上。CVD過程涉及將物質相,通常是氣相或氣相轉化為固體薄膜。AMAT CENTURA特別配備了一個大型石英反應室,在給定的底物上高效地分配前體。此外,集成的加熱器和相關的溫度控制系統能夠對工藝進行精確控制,從而在真空條件下實現層厚控制和均勻性。APPLIED MATERIALS CENTURA是一種金屬有機化學氣相沈積(MOCVD)反應器,允許獨立的區域溫度控制。這是通過多區射頻偏差實現的,該偏差在100攝氏度至1000攝氏度的廣泛溫度範圍內施加精確加熱。同樣,在沈積過程中保持清潔和精確的熱循環。此外,它的石英加工室體積能夠對MEMS(微機電系統)以及其他應用所需的薄膜進行更大的處理和沈積。CENTURA設計用於需要保形沈積薄膜的應用,包括氮化矽、多晶矽和許多其他需要均勻和可重復沈積過程的薄膜。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA允許在沈積過程中使用的材料方面具有高度的靈活性。它可以與多種前體一起使用,包括矽、的、的-矽、感應耦合等離子體(ICP)和高溫金屬有機化學氣相沈積(HTMOCVD)所必需的。此外,AMAT CENTURA支持各種類型的沈積循環,如高壓快速熱化學氣相沈積(FTCVD)和低壓等離子體增強型化學氣相沈積(PECVD)。APPLIED MATERIALS CENTURA還配備了大型石英觀察窗、高溫計、熱線風速計等多種反饋和計量來源。這些功能使用戶能夠根據需要監視和調整沈積參數。CENTURA有多種尺寸可供選擇,以滿足特定的工業需求。此外,反應堆的配置是完全可定制的,允許特定的材料需求。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA的可靠性和成本效益使其對半導體工業特別有吸引力。
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