二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於在基板上制造各種材料的薄層。設備由一個主腔室、腔室壁和一個感光器組成，在沈積過程中將晶片固定到位。腔室裝有兩個傳感器，監控反應堆內部的壓力。反應堆還可以容納一系列前體，如矽烷、膦和三氯化硼，用於沈積物料層。AMAT CENTURA系統旨在提供完整的過程控制和監控,並提供清潔的環境。腔壁由高氮化石英材料制成，有助於減少加工過程中的排氣和擴散，這有助於確保一個一致的、高質量的成品層。室壁在頂部和底部都有多個擋板，並充滿了氮氣，以幫助在內部創造理想的環境。此外，室壁和門設有排氣單元，以確保空氣連續流向腔室，有助於減少雜質或可能使最後一層受損的汙染物。敏感劑在沈積過程中也很重要，通常附著在加熱的基座上，在整個過程中有助於保持整個基板的均勻溫度。這些晶片塗有一層犧牲性的材料，如氮化鈦，通過機器人手臂裝載到磁感器上。機器人臂還負責在沈積過程中定位晶片，並在過程完成後將其移除。APPLIED MATERIALS CENTURA系統專為一系列應用而設計,允許用戶生產金屬、半導體、絕緣體和電介質的薄膜。該機還能沈積砷化氙、磷化氘、氧化錫等材料。沈積過程是完全封閉的，確保沈積過程中不會引入任何汙染物或雜質，從而允許完全清潔和一致的材料層。最後，該工具設計具有用戶友好的界面和一系列安全功能，便於操作和維護。