二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203459 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種反應堆，設計用來將材料的薄層沈積在基板（表面）上，例如在制造太陽能電池時。它是專門為大規模生產光伏電池而設計的物理氣相沈積（PVD）反應器。AMAT CENTURA由幾個組件組成，這些組件協同工作，將受控的物料流動輸送到基板上。主室由一個內徑幾英尺的石英管組成，密封在頂部和底部。這個內室被加熱到高溫，通常在950C左右。附著在主室的是另外兩個側室，分別加熱到不同的溫度。主室內部有幾個氣體入口和出口，用來存放材料。氣體入口通常輸送氫氣、氟化氫和氧氣等氣體，出口用於排出一旦材料沈積就產生的廢氣。要塗覆的基板附著在手臂上，手臂隨後被移入腔室，由機器人運動控制系統放置在所需位置。一旦材料準備好被沈積，目標材料，如矽片，被放置在基板上。一旦目標材料處於正確的位置，它就被兩個側室加熱，氣體入口開始供應用於沈積的氣體混合物。氣體混合物使用反饋系統進行操作，以確保沈積物中存在所需的質量。反應堆還有一些其他的工藝可以用來控制沈積，例如使用旋轉的目標來制造均勻的塗層。一旦沈積完成，手臂就從腔室中抽出，然後可以安全地去除基板，檢查其上的物料層。APPLIED MATERIALS CENTURA是一種強大、可靠、高效的光伏電池和其他類型技術大規模沈積系統。