二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9204753 待售
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ID: 9204753
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Etcher, 12"
Process: Oxide
(3) Poly chambers
(1) Axiom chamber
(1) EFEM with KAWASAKI Robot
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種最先進的基材加工反應堆，設計用於實現商用級半導體生產。這種先進的蝕刻工藝可處理反應性光束、物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）腔室，從而提高通量並提高產率。AMAT Centura Enabler的創新設計包括了廣泛的腔室尺寸選擇，讓客戶能夠使反應堆適應自己的生產環境。此外,APPLIED MATERIALS Centura Enabler的設計考慮了物理和環境安全。其分子排除油墨（MEI）腔室設計提供精確的溫度控制的熱處理與離子邊緣，允許提高均勻性和過程的可重復性。為了增加安全性，Centura Enabler包含一個內置的氣流控制系統，允許對腔室內的氣體分布進行精確的控制和一致的監測。該室還具有內置真空系統，確保所有組件都是密封的，沒有任何密封或墊圈。此外，該室的設計是為了最大限度地減少反向擴散的離子和改善沈積表面的控制，提高均勻性和產率。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler高效的熱管理系統還確保整個反應堆保持一致的溫度，從而實現最佳的加工條件。其單壁垂直設計減少了反應堆的占地面積，最大限度地提高了地板利用率。AMAT Centura Enabler還具有符合人體工程學、高度可調的用戶界面，可以方便地操作和控制反應堆。APPLIED MATERIALS Centura Enabler是商用級半導體生產必不可少的組件。它提供了廣泛的腔室尺寸選擇、精確的溫度控制熱處理、氣流控制、真空系統、改進的均勻性和工藝可重復性、提高的產量、高效的熱管理、單壁垂直設計和符合人體工程學的界面，確保商業級生產安全和達到最佳水平。
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