二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9207994 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA系列反應堆設計用於先進金屬互連的高長寬比等離子體蝕刻，提供快速的通量和最小的熱暴露。該設備采用5級淋浴頭氣體噴射器，提供超低分壓和精確計時，以優化金屬蝕刻條件。電氣系統采用快速響應節流技術，能夠精確控制工藝溫度，從而獲得所需的薄膜性能。這種柔性氣體註入和電氣單元的結合使得AMAT CENTURA系列成為高長寬比等離子體蝕刻的理想選擇。應用材料CENTURA反應器是為先進的半導體加工而建造的，利用先進的等離子體蝕刻能力進行金屬互連。在蝕刻過程方面，反應堆配備了先進的5級淋浴噴頭氣體噴射器，允許超低分壓和精確計時。這臺機器還采用快速響應節流技術，提供對工藝溫度的精確控制，同時提供最佳蝕刻條件。此外，其先進的反饋控制工具能夠快速穩定溫度，這對於其高溫能力至關重要。CENTURA系列反應堆還擁有廣泛的能力，旨在最大限度地提高蝕刻性能，包括次循環鎖定定時、可編程基板預熱、氣體剖面優化等等。這些特性的結合提供了極好的均勻性和可重復性，使得高品質產品的生產，即使在高級工藝節點上也是如此。此外，該資產的設計采用無變形墻和可調基板支架，提供無與倫比的準確性和靈活性。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA系列采用了質量最高的組件，從而形成了可靠、堅固的模型。它具有堅固的不銹鋼框架，旨在最大限度地減少振動，並提供出色的隔熱。設備先進的熱循環功能還允許在廣泛的工作溫度範圍內穩定溫度,使其成為高長寬比蝕刻需求的絕佳選擇。總體而言，AMAT CENTURA系列是蝕刻金屬互連的可靠且先進的工具。該系統結合超精密氣體註入、精密溫度控制和堅固的結構，為高性能和高產蝕刻需求提供了卓越的工藝精度。其出色的功能集是為先進的半導體工藝而設計的,它允許利用最新的工藝節點和技術生產高質量的產品。