二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9213203 待售
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ID: 9213203
晶圓大小: 6"
EPI System, 6"
Narrow body load lock
HP Robot
(2) ATM EPI Chambers
Gas panel: No.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種高性能的晶體生長反應器,用來製造精密的電子晶片,包括DRAM和閃存元件。反應堆為增強材料性能提供了理想的基板,以及高性能設備和互連。反應堆采用熱、電和氣體控制的獨特組合,優化半導體制造工藝。AMAT CENTURA是一種先進的電子束輔助(E-beam)激光結晶反應器,設計具有32微米至500微米的器件特性。這座反應堆具有一個大的過程室,帶有一個完整的模擬/數字控制界面,用於精確的過程控制,允許高性能溫度、壓力、火花隙、厚度和每個站點的沈積。這種過程控制是通過電子束沈積的加速度,進一步加強過程控制和產生優越的材料來增強的。APPLICED MATERIALS CENTURA還設計用於優化各種半導體材料的晶體生長,包括矽、移植物和III-V化合物。該系統利用先進的多元素源透鏡,產生了一系列沈積角度,產生了高質量的材料和器件性能。再者,通過識別每種材料的獨特特性,反應堆可以調整其參數來修改工藝的條件,這可以讓使用者瞬間看到。反應堆還利用多元件光學傳感器陣列,可在一定厚度和材料範圍內精確供電。通過識別每種材料的獨特特性並改變工藝,反應器可以提供量身定制的參數來優化晶體形成。這種方法已被證明可以減少制造產品中的缺陷並提高整體設備性能。CENTURA是一種先進的高性能晶體生長反應器,專為半導體元件的最新應用而設計。該反應器具有高效的過程控制界面、先進的多角度沈積源透鏡和用於精確功率傳遞的光學傳感器陣列。此外,該系統旨在最大限度地利用各種材料形成晶體,從而實現卓越的設備性能。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA專為制造最新、性能最高的電子產品而設計和開發,在晶體生長、沈積和材料裁剪方面處於行業領先地位。
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