二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9218563 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA（AMAT CENTURA）反應器是一種專為大體積、高溫蝕刻、沈積和表面工程應用而設計的專用加工室。利用先進的等離子體技術，APPLIED MATERIALS CENTURA反應器可用於化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、離子植入等多種晶圓制造工藝。對於所有制造商而言,無論應用程序或復雜性如何,此合一過程都是一個高效且經濟高效的解決方案。CENTURA反應器是利用電子回旋共振（ECR）感應場的先進等離子體技術。這種ECR提供了超過任何其他可用沈積方法的最高溫度等離子體條件，非常適合在高工藝溫度下的應用，如固化環氧樹脂和玻璃。ECR等離子體源的精密技術使各種工藝條件和參數易於調整，以達到最大工藝產量和性能。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器可用於沈積多種材料，包括氧化物、氮化物和氧乙二醇。也可用於蝕刻矽、氧化物和光致抗蝕劑，包括高長寬比結構。反應堆獨特的定制腔室設計允許高通量生產，與其他等離子體處理方法相比，蝕刻和沈積速度更快。AMAT CENTURA反應堆還加入了獨特的多區重量裝載系統，允許晶圓的裝卸完全靈活。這使得系統非常適合緊密集成到各種進程中，並允許增加加載和卸載晶片的吞吐量時間。電源設計用於提供超低噪聲級別,並在進程運行期間防止任何波動。應用材料CENTURA反應器是一種先進的等離子體處理工具，在蝕刻、沈積和高溫應用方面提供無與倫比的性能。它為過程的穩定性提供了良好的溫度控制,並設計了最大的吞吐量.CENTURA反應堆具有出色的低噪聲電源、卓越的多區重量加載系統和可靠的ECR感應場,是滿足您所有等離子體處理需求的理想選擇。