二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9227018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種高真空化學/物理氣相沈積（CVD/PVD）反應器。這類CVD/PVD反應堆經常用於微電子、光電子等高性能應用。AMAT CENTURA反應堆的關鍵部件包括工藝室、真空泵、沈積源、氣體面板和工藝控制設備。該工藝室是反應堆的主要部件，由一個可密封的室和一個可以打開和關閉的門系統組成，以調節室內的大氣。在工藝室內，氣體反應物被引入真空泵產生的真空環境。反應物隨後暴露在高溫下，通常高達1100 °C，由沈積源設定。沈積源可以是電子束蒸發器、感應耦合等離子體源，也可以是電阻蒸發源，視應用而定。安裝在APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆中的氣體面板負責根據用戶建立的具體參數，將反應物引入工藝室。它還能夠控制使用氣體的速率和百分比。此外，氣體面板包括傳感器和關閉閥，使用戶能夠控制沈積混合物的每一組分的流動和激活。過程控制單元負責控制和監測反應堆室的參數。工藝控制機能感應沈積速率和沈積基板的溫度，以及腔室大氣的壓力。它還具有根據需要調整溫度、工作氣氛和其他變量以優化沈積過程的參數。CENTURA反應堆是幾十年來廣泛應用於微電子和光電工業的強大工具。其高真空能力、精密的沈積源以及強大的工藝控制工具，使得能夠創造出最先進的材料技術應用所需的高度精密和復雜的微觀結構。