二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9236582 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，能夠為薄膜沈積提供廣泛的加工解決方案。CVD反應堆利用化學來源、加熱表面和其他形式的能量，例如等離子體，將多晶、無定形和在某些情況下直接結合的合金或其他化合物的薄層沈積到各種基材上。AMAT CENTURA主要用於半導體芯片的生產，能夠沈積從幾埃到幾微米的層厚，最大沈積速率為2微米/小時。CVD反應器的腔室提供了一個真空環境，允許復雜薄膜結構的可靠生長和先進材料的沈積。APPLIED MATERIALS CENTURA使用了幾種氣體引入系統，包括單獨的疏散和引入模塊，以實現對加工和基板溫度的精確控制。CVD反應堆還配備了先進的光學設備，用於對沈積過程進行精確的現場觀測和測量。該系統還包括若幹安全傳感器、先進的滅火裝置、氧化物封裝機和自動化維護工具，所有這些都確保了安全和高效的操作。CENTURA CVD反應堆設計用於商業和研究用途。反應堆的腔室由耐腐蝕的不銹鋼構成，周圍是高絕緣的墻壁，防止熱傳導離開腔室，從而產生高效的過程。腔室內部由特殊的光源照明，提供了一個適合各種CVD沈積過程的環境。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA CVD反應堆先進的工藝控制資產確保了準確和可重復的沈積結果以及對氣源的高效利用。基於機載的自動化過程控制模型還提供了有關過程環境的詳細數據，並允許用戶輕松優化沈積過程。最後，CVD反應堆配備了自動清洗設備，可減少停機時間並確保長期可靠性。此外，系統的模塊化設計允許在未來方便的維護和升級。因此，AMAT CENTURA CVD反應堆是商業應用和研究需求的理想選擇。