二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9237390 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是生產多晶矽膜的低溫多晶矽沈積反應器。AMAT CENTURA多晶矽反應器（AMAT）用於制造許多微電子元件。應用材料CENTURA多晶矽反應器通常在500至600攝氏度的溫度下運行，以生產純度為99.999%的薄膜。CENTURA多晶矽反應器由被稱為「堆棧」的多級石英管組成。該堆棧包含幾層石英、石英擋板和一個反應室。上下石英管形成反應室的壁，而中間的石英擋板是熱隔離的金屬成分，充當傳播熱能的屏障。反應室由高溫感應加熱器和來自原料的熱氫供應管線加熱。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA多晶矽反應器設計為生產具有高純度、均勻晶體結構、對薄膜特性高度控制的薄膜。它還能夠微調薄膜的沈積速率和性能，以優化所需的結果。在操作過程中，矽粉被引入反應室中，這是暴露在高溫和壓力的組合。與矽粉混合的熱氫氣汽化形成單獨的矽顆粒，與熱壁和石英擋板接觸後，反應並沈積到基板上產生薄膜。然後將薄膜進行後處理、冷卻和切成晶片以便以後處理或包裝裝運。可以控制AMAT CENTURA反應器的沈積速率，確保達到表面性能良好的薄膜。使用先進的氣體輸送系統減少了單個晶圓循環的生產時間，並提供了改進的過程控制。APPLIED MATERIALS CENTURA系統能夠生產尺寸和形狀極為均勻的薄膜,這使得它成為MEM、集成電路和光伏電池等薄膜元件制造商的理想選擇。其精確控制沈積速率、均勻性、薄膜特性的能力，使其成為微電子制造過程中的有力工具。