二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9245641 待售
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已售出
ID: 9245641
晶圓大小: 12"
CVD System, 12"
Includes:
0010-08687 Upper chamber A Ultima X HDP-CVD
0010-08687 Upper chamber B Ultima X HDP-CVD
0190-02955 Centura factory interface FFU-AMT -S1
0010-23250 Monolith unplat, 12"
ADVANCED ENERGY 3155120-001 A RF Rack
330241-D3GP Gas box platform, 12"
(2) SMC CORPORATION INR-498-011B Thermo chillers
0190-4213, 1B05180G03 HDP-CVD Primary AC distribution, 12"
Factory interface components:
(2) NEWPORT KENSINGTON 25-3700-1425-08 Robots
(2) KENSINGTON LABORATORIES Servo positioning controllers
(2) TKD CORPORATION TAS300, 02TF12953, 0190-17837 Load ports
KENSINGTON LABORATORIES 25-3600-0300-03 Wafer indexer
RF Rack components:
(2) ADVANCED ENERGY A3H0C200BA120G001A RF Generators, 10 kW/13
(2) ADVANCED ENERGY HFV 8000, 3155083-180A, 0920-0112 RF Generators
Robot
NSK Driver
(2) RPS Units
Missing parts:
Interconnect cables
Controller cabinet.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一種使用外延技術建造納米結構的工具。它是一種通用、靈活、高效的半導體制造設備。它有三個腔室，使用13.56 MHz射頻源將能量輸送到基板，允許高度精確的沈積和蝕刻。AMAT CENTURA反應堆的主室是底物沈積系統。該單元用於將器件材料沈積到基板上，並由石英晶體壓力平衡、高分辨率步進電機控制。本機可針對濺射、直流磁控管濺射、火炬濺射、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）等不同過程進行調節。該工具還能夠同時處理多種尺寸的基板。APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor的第二室是外延資產。該腔室具有用於在基板上放置偏置的射頻偏置，允許使用電子槍直接寫入所需的納米結構。該模型還能夠以非常高的精度和高速蝕刻所需的納米結構。該腔室還可以使設備退火,這是穩定設備材料所需的步驟。CENTURA Reactor的最後一個室是計量室，其中包括光學顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、掃描電子顯微鏡（SEM）和橢圓儀等計量工具。使用這些工具可以對納米結構進行高分辨率成像，以及對其特性進行動力學分析。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是制造納米結構的可靠、高性能的工具。利用它的三個腔室和經過微調的射頻系統，這個工具可以用非常高的精度和速度來制造最復雜設計的納米結構。其多功能性和效率使其成為任何納米結構制造應用的一種經濟高效、可靠且極好的選擇。
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