二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9250769 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於一系列半導體工藝。它使薄膜和屏障層從CVD前體中生長出來，從而在各種工件基板上形成復雜而精細的結構。AMAT Centura Enabler具有先進的單晶圓工藝室,能夠輕松適應快速的溫度升高。該腔室使整個晶片的均勻度在0.3°C以內,從而提高了性能並提高了工藝可靠性。Enabler配備了Flex Temperature Control Design, Flex Temperation Control Design是一項獲得專利的功能,可創造無氧環境,減少汙染並延長晶圓壽命。這項技術可以精確控制溫度,而不會影響工藝臨界尺寸（CD）的精度。APPLIED MATERIALS Centura Enabler提高了工件熱處理能力,因為它能夠為各種工藝精確輸送氣體,同時提供無與倫比的基板溫度控制。反應堆還配有雙工氣體面板和多源高速氣體閥，兩者完全可定制，以最適合制造環境的需要。Centura Enabler結合了先進的PID控制環路來管理爐溫和壓力。該控制回路可調節，以優化高溫和低溫環境下的性能，並確保材料沈積過程中的精確溫度控制。反應堆還設有低壓等離子體源和遠程等離子體控制。這允許精確的血漿控制，並允許使用各種各樣的工藝化學方法。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler的設計考慮到了高生產率,並配備了快速熱循環系統。這使得高速加熱和冷卻時間成為可能，讓用戶增加生產吞吐量。反應堆還結合了並行工藝室技術來支持多種工藝。AMAT Centura Enabler是尋求提高產量和可靠性的原型和生產工廠的理想選擇。它具有全面靈活的特點，是現代半導體工業的寶貴工具。