二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471 待售
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ID: 9282471
System
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber Enabler
(1) Generator rack
(1) EFEM with YASKAWA Robot
VHP Robot
TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是為一系列先進工藝設計的多功能反應堆。它具有先進的石英粉體形式,非常適合高溫工藝和超平表面輪廓。它還提供低成本、低維護和高可靠性。Enabler具有多種功能,可滿足高功能、高復雜性過程(如低溫氧化物生長和銅蝕刻)的要求。Enabler還具有真空沈積、電化學、熱氧化、蝕刻、金屬沈積和薄膜沈積工藝等先進功能。Enabler旨在充分利用單個腔室。它占地面積小,運營成本低。啟用程序能夠以最可重復的結果創建高質量的功能。例如,當使用「啟用程序」(Enabler)進行薄膜處理時,可以創建寬達37 nm且同時具有線寬控制和臨界尺寸保真度的結構。Enabler還提供超高吞吐量和低溫過程。它的設計結合了高精度和多室訪問並行過程。這樣就可以創建更大的曲面和復雜的結構,否則很難實現。這對於晶片級工藝(如電介質)特別有用,可以以高達270 nm/min的速度沈積。Enabler還具有集成的流程控制功能,可實現高流程資產利用率。它還提供了用戶友好的軟件控制,以提供工藝參數的無縫集成。這確保了軟件操作的一致性,並實現了間隙控制和基板的均勻性.Enabler功能強大,是一系列高級流程的理想選擇。它的設計和特點使其成為既定工藝和新研發的絕佳選擇。它的功能,加上低成本、低維護和高可靠性,使其成為一系列應用程序的絕佳選擇。
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