二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282472 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是用於半導體加工的沈積反應器。它是實現原子層沈積（ALD）、化學氣相沈積（CVD）和濺射等各種底物沈積技術的行業領先平臺。它是半導體制造業中使用最廣泛的等離子體增強沈積工具之一。AMAT CENTURA反應堆為多步驟過程序列提供了一個平臺，可以根據每個單獨過程的要求量身定制。這些序列包括熱處理、基於等離子體的沈積、蝕刻和離子植入。這種靈活性使得該工具可用於廣泛的沈積過程應用。此外，反應堆還可以配備各種先進的分析工具，用於實時監測過程。Advanced Materials APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆設計有多種工藝和腔室組件,可配置為滿足特定的客戶要求。關鍵部件包括高真空室、高純度氣體分配和洗滌設備、充電系統和溫度控制系統。腔室配有足夠的端口，用於快速準確地監測傳入的晶片、氣體和溫度傳感器。CENTURA反應器對底物溫度、氣體成分和工藝壓力提供了極好的控制。它采用了幾種行業領先的技術，如抗熱基板卡盤、斜壓裝置和先進的氣流控制器。這些功能提供了更高級別的流程控制,這對於實現一致且可重復的流程至關重要。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆還具有先進的計量能力，如自動化過程控制（APC）和原位過程監測（IPM）系統。APC使用常規測量數據來確定流程參數是否滿足和/或超過預先定義的目標條件。這可以快速檢測沈積過程中的過程漂移，防止產品質量受到損害。IPM是一種監測機器架構內反應堆實時沈積過程數據的能力；這樣可以確保基板的均勻性和過程控制。AMAT CENTURA反應器是幾種復雜半導體加工應用的一種經濟高效、可靠的工具。其先進的計量能力、過程控制能力和靈活性使其成為高質量過程的理想選擇。