二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9286835 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一個高度先進的反應堆，設計用於3D集成電路（IC）應用的大容量處理。與傳統的平面IC解決方案相比,其卓越的設計使3 D IC解決方案的低成本制造具有運行時、產量和性能優勢。Enabler利用專有的AMAT技術和先進的反應堆設計實現獨特而高效的3D IC集成。Enabler是一個混合系統,它結合了優化和隔離的過程室,以集成多層電路,而無需花費昂貴的多步驟過程。它提供先進的逐層（LBL） CVD功能,並且能夠使用二維和三維3D IC體系結構。這為高性能、節能的3D IC產品提供了低成本的制造途徑。啟用程序能夠同時進行低溫CVD （LTCVD）和原子層沈積（ALD）過程,從而可以形成一系列設備體系結構。這樣就可以制造復雜的邏輯、內存、存儲和模擬集成電路。ALD是一種薄膜沈積技術，用於形成亞納米厚度的薄膜，以精確控制層的性質。啟用程序還使用可變掩碼掃描（VMS）技術來確保後續圖層的精確對齊。這進一步確保了設備級別的穩定性和設計可擴展性。借助這項技術,Enabler允許對每一層進行微調,以改善設備功能。Enabler還提供全自動操作,對溫度、壓力和其他工藝參數進行嚴格控制。這樣可以在各種基板幾何形狀上實現均勻一致的層厚度。Enabler還可以針對各種生產配方快速配置,並提供一整套工藝工具。Enabler由嵌入式、安全、基於Linux的系統提供支持,用於實時數據收集和自主過程控制。這種強大的體系結構可確保高級數據安全性和可靠的性能,以實現高容量生產。結合APPLIED MATERIALS簽名客戶支持,Enabler為快速創新和成功制造3 D IC提供了理想的環境。