二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9288113 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是專門為半導體制造而設計的多室反應器。它是一個兩層的集群工具，在一臺機器中提供等離子體蝕刻和沈積過程。工藝室以「群集」配置排列,允許同時運行不同的工藝,從而能夠以較小的特性進行生產,提高吞吐量和提高產量。AMAT CENTURA配備了先進的等離子體蝕刻和沈積技術，為滿足特定客戶需求量身定制。其等離子體蝕刻室配備了PlasmaCore或PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）工藝，可以進行優化，以最大限度地提高層均勻性、吞吐量和幾何精度。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA還提供了蝕刻過程中即時載波控制的附加功能,這對於高級設備的生產至關重要。沈積室主要用於厚層矽氧化物和摻雜氧化物的沈積，但其他沈積過程也可在CENTURA上進行管理。沈積是使用TEOS（四乙基矽酸鹽）或ALD（原子層沈積）工藝進行的，也可以量身定制以滿足特定的客戶要求。沈積層可以在100到1000埃之間，可以進行調諧，以達到更高的工藝均勻性和產率。除了作為沈積和蝕刻反應堆的能力外，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA還提供了一些特殊功能，包括用於去除蝕刻殘留物的先進光阻去除劑（APR）、用於控制腔室內環境的汙染控制系統（CCS）以及用於監測和維護工藝條件的自動化過程控制（APC）。AMAT CENTURA是一種高度通用和高效的工具,能夠生產質量極高的設備層,其工藝產量比傳統工具顯著提高。其高精度的沈積和蝕刻能力，加上先進的汙染控制系統和自動化的過程控制，確保了各種應用領域的可靠和一致的結果。因此,APPLIED MATERIALS CENTURA非常適合生產具有最先進設備體系結構的高頻設備。