二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9294341 待售
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ID: 9294341
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
AC Rack
Generator rack
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種用於薄膜沈積和表面處理的高性能反應器。用於薄膜沈積、薄膜蝕刻和表面改性等多種應用。反應堆由沈積室和反應堆端口兩個主要部件組成。沈積室容納要加工的基材。反應堆端口包含氣體入口、氣體排氣和真空系統,以及一系列閥門和自動化部件。AMAT CENTURA的心臟是一個電子束槍,它將高強度電子束傳遞到基材上。這導致目標材料被電離,離子被吸引到發生化學反應的底物表面,從而產生所需的薄膜。電子束的能量被控制,以便對沈積速率進行精確控制。應用材料CENTURA能夠處理各種材料。由於沈積過程發生在真空中,幾乎可以加工任何可以加熱到所需溫度而無需氧化的材料。當蝕刻時,使用等離子體源允許調整光束強度並控制蝕刻速率。CENTURA反應堆的控制和自動化系統確保整個過程以統一和安全的方式進行。建立了各種安全聯鎖裝置,以確保立即發現和處理危險情況,如過壓和異常電氣情況。沈澱室和反應堆端口的設計都便於進入和維護。設備的所有部件都設計成能夠快速高效地進行定期維護或維修。同時,所有部件都設計為確保始終保持最高安全度。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種用於薄膜沈積和表面處理的高性能、可靠和安全的反應器。它是從精密薄膜沈積到蝕刻和表面改性等多種應用的理想工具。AMAT CENTURA反應堆擁有高能電子束槍、自動控制和安全系統以及易於維護,是任何實驗室或制造設施所必需的。
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