二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9298670 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是設計用於半導體制造應用的領先技術反應堆。它匯集了一系列的過程控制、機器人技術和材料傳輸解決方案,從而實現了高效的多步半導體過程操作。這種集成提高了吞吐量,並允許使用手動方法無法完成的更復雜的處理。Enabler還使用高級計量和分析來提供有關流程性能的精確反饋,以確保最佳性能。Enabler由許多相互連接的模塊構成,並具有模塊化體系結構,可方便地更換和升級各個組件。這些組件包括反應室、傳感器、控制監控器、加工化學品和各種支持系統。各組件之間的連接由高級控制設備維護。Enabler的模塊化設計允許在工廠內或跨多個工作單元輕松移動。Enabler利用了幾個不同的工藝室，從而能夠成功地制造半導體元件。這些為制造納米級晶體管而優化的工藝室包括濕清潔室、氧化物厚度室、反應性離子蝕刻室、法拉第籠和蝕刻緩沖室。每個腔室都設計有特定的特性和組件，以方便納米級晶體管的成功制造。啟用程序還利用高精度遠程光學計量系統來監測和分析反應堆的性能。這一光學計量單元結合了傳統光學和先進的數字成像技術，對所加工產品的形狀和尺寸進行精確測量。這臺機器提供關於反應堆性能的反饋，並能夠優化工藝參數，以產生所需的結果。Enabler具有安全功能,可在制造過程中安全部署。反應堆有幾個保護領域，在使用過程中保護化學品和其他材料。這些安全功能包括先進的防漏、火災探測系統和遙控監控。AMAT Centura Enabler是一個高度集成的工具,旨在實現高效的多步驟半導體工藝操作。它使用先進的計量和分析技術,為優化性能提供精確的測量,並具有可靠的安全功能,可在制造過程中安全使用。Enabler是制造納米級晶體管和其他微電子元件的理想解決方案。