二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9312776 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種多室反應器，設計用於高級加工應用。適用於處理外延生長、蝕刻、幹蝕刻、金屬沈積等多種苛刻任務。AMAT CENTURA是量產的設備，意味著它是高度可靠和高效的。反應堆由一個獨立的源室、過程室和一個載荷鎖室組成。它采用動態設計,具有針對各種流程進行優化的暖區。腔室控制和隔離系統提供安全操作和保護過程環境。APPLIED MATERIALS CENTURA提供了多個加熱和冷卻區域,可用於快速改變每個工藝室的溫度,從而實現最佳的熱穩定性。此外,背面晶片加熱器可實現均勻溫度,防止出現熱點和其他可靠性問題。CENTURA還能控制腔內的壓力。采用連續流動原理和自補償壓力控制系統。這確保了工藝環境穩定，蝕刻工藝均勻。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆還提供了幾種工藝控制工具，以確保均勻性並實現改進的工藝性能。利用這些工具，用戶可以監控氣流，控制基板溫度，調節壓力值。此外，集成的自動晶片處理系統為用戶提供了在腔室之間快速方便地傳輸晶片的能力。此外，AMAT CENTURA反應堆配備了堅固的安全和維護裝置。該機器包括自動過載保護、傳感器控制操作、運行結束診斷和預測性維護工具等功能。這使用戶能夠確保其反應堆始終處於峰值性能運行狀態，並向他們保證其工藝結果符合規定。總體而言,APPLIED MATERIALS CENTURA是一種可靠高效的反應堆,專為復雜的高通量工藝應用而設計。它提供了多種流程控制工具和自動化晶圓處理系統,用戶可以輕松管理不同的流程。此外，其強大的安全和維護資產為用戶提供了一種信心，即他們的反應堆將高效運行並產生可靠的工藝結果。