二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9355266 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種革命性的過渡金屬化學氣相沈積(TM-CVD)反應器。它具有最新的等離子體表面相互作用技術和先進的PECVD-CVD兼容性,以實現獨特和創新的基板。Enabler旨在加快先進絕緣材料的發展,如高k電介質和增強封裝集成的屏障膜。Enabler建立在一個強大的平臺上,具有先進的反應室、溫度控制和沈積系統。它是一個開放的系統,兼容多種氣體以支持多層過程。通過高效的設計,Enabler提供了高吞吐量和長期可靠性,而且維護和停機時間最短。其全面的自動化控制和數據檢索為復雜的過程和應用提供了卓越的性能和靈活性。啟用碼為一系列高級材料提供高速率沈積。是生產優質電介質和先進設備互連薄膜的可靠平臺。其雙電源和多頻源線圈可實現多個過程窗口,從而對沈積速率和組成進行了更好的控制。Enabler能夠為極低吸氮的CMOS設備生產高質量的界面層。這是低k材料和未來一代集成的理想選擇。因此,它已被全球領先的鑄造廠和大學采用,用於薄膜設備和工藝。此外,通過其低成本、緊湊的尺寸和高效的技術,Enabler可以幫助降低材料成本並擴展工藝能力。這將推動高性能材料的開發,並提供成本效益更高、更可靠的流程。AMAT Centura Enabler是一種先進的TM-CVD反應器,具有先進的等離子體-表面相互作用技術和PECVD-CVD兼容性。它能夠開發先進的絕緣材料,其先進的功能可以實現多種工藝窗口和多種氣體。其雙電源和多頻源線圈使沈積速率和組成得到了更好的控制。Enabler是生產低吸氮優質電介質和互連薄膜的絕佳平臺。Enabler經濟高效、緊湊高效,是低k材料的理想解決方案,在全球範圍內適用於薄膜設備和工藝。
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