二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9384520 待售

ID: 9384520
CVD System ICP.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是一種中型沈積工具,設計用於科學研究和工業導向的應用。它是一種適用於一系列技術應用的高性能、高效、可靠的工具,從半導體、聚合物等薄膜材料的生長到蝕刻和摻雜。一般而言,AMAT CENTURA反應堆由三個主要部分組成:氣體輸送室、源和基板支架。氣體輸送室容納化學物質(氧化物、鹵化物、氫化物等)、惰性氣體和摻雜劑等氣源。源或目標產生一束材料或能量,取決於各自的反應或沈積類型。然後,該梁被定向到放置在基板支架中的基板上,該基板支架的設計允許精確控制基板的位置。材料和能源的這種產生和定向運輸受到一系列組件的調節,如氣體調節器和百葉窗、束線元件和光子電源。APPLIED MATERIALS CENTURA的各種結構組件-包括其腔室、源和基板托架-通過強大的計算機化控制臺進行連接和協調。該控制臺允許對沈積過程進行精確而復雜的控制,並提供卓越的性能,平均晶圓厚度均勻度為+/-0.1微米。此外,控制臺非常方便用戶使用,能夠進行示例加載和遠程操作,並且包括配方編程和實時過程監控等功能,CENTURA反應堆非常可靠,能夠穩定、準確地運行。通過改進的系統體系結構和高效的功率控制,能夠實現高質量、卓越的石墨化和抗氧化性薄膜材料的生產,同時顯著降低能耗。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆運行簡單可靠,性能卓越。其良好的溫度均勻性和較高的沈積速率意味著它是一種適用於各種薄膜沈積過程的工具。它也是高效率和可靠的,使其成為一種成本效益高的頂級沈積工具,非常適合任何工業或研究應用。
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