二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9389470 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是一種高性能、全尺寸的半導體加工設備。它提供了優化的熱控制，設計用於執行半導體制造過程中所需的各種蝕刻、沈積和其他處理步驟。AMAT CENTURA具有一個能夠容納多個晶片負載的腔室，以及每個包含最多四個晶片的負載鎖。它配備了一套高精度離子源、等離子體源和自動晶圓傳輸機制。該系統還提供了一整套工藝控制選項，包括腔室壓力、溫度和氣體流量，以及離子源的功率和頻率設置。APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆由65 W電源供電,能夠按需提供高達100%的電源。該單元還配備了一個溫度控制模塊和多套加熱器，允許處理室的高精度和快速熱循環。腔室由不銹鋼構成，周圍環繞著特氟龍半導體氣體安全護罩。為了最大限度地提高凈度和顆粒控制，該機還具有自動化的高性能邊緣焊縫清除和泄漏監控系統。CENTURA反應器能夠執行一系列的工藝步驟，包括氧化物蝕刻沈積、氮化物蝕刻沈積、先進的沈積工藝如CVD、PVD和PECVD，以及正面蝕刻。其先進的工藝控制軟件允許用戶精確定義工藝參數和氣流，監控腔室壓力，管理腔室冷卻時間，與其他系統相比，所有這些都提供了更高的精度和工藝質量。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是任何半導體制造設施中的一個有價值的補充，提供了一種提供高性能和精確度的工具的能力。其工藝步驟的範圍、先進的工藝控制和高溫提供了最高質量的結果，從而提高了性能和輸出質量。