二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9390594 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種用於創建大面積薄膜沈積過程的反應器。它是一種工業級沈積設備，為沈積過程準備晶片。AMAT Centura Enabler旨在促進高均勻性和均勻性薄膜的生長、修改和修復。該系統具有計算機控制、溫度管理的腔室，可在沈積過程中精確控制晶圓溫度。該裝置采用了一種獲得專利的先進低壓沈積工藝，能夠在大面積區域內以均勻的性質沈積超薄膜。這種低壓工藝消除了底部和側面屏蔽的需要,從而提高了吞吐量和生產率。該腔室具有低速氮環境，允許材料快速轉移到基板上。氮環境還通過防止沈積速率的變化，提高了工藝的均勻性和連貫性。這使得沈積在基材上的材料分布更加均勻。雖然APPLIED MATERIALS Centura Enabler可用於多種材料沈積過程，但它特別適合於高度揮發性的氧化膜。Centura Enabler還具有高級成像功能,使計算機能夠定位和測量低至25納米的功能。其快速自動對焦功能還使用戶能夠在盡可能短的時間內獲得高質量的成像數據。動態自動對焦還可確保即使樣品表面有輕微的地形變化，成像目標也能準確地記錄在基板上。該工具還具有數字顯示功能,允許用戶精確協調和設置樣本的位置。這種晶片的精確定位允許精確和可重復的測量過程和產量的完整性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種先進的工業級資產,無論材料類型如何,都能將高質量、均勻和均勻的薄膜沈積到基片上。該模型還具有先進的成像能力，以及用於一致和可重復測量的基板的精確定位。這樣可以實現高通量、高產量、高質量的過程結果。