二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #293663175 待售

AMAT Centura Chamber是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於多種應用，如沈積薄膜太陽能電池、內存存儲設備、顯示技術和光伏電池。該室由反應室、源室、參數室和受控大氣室組成。反應室包含底物支架，是該室最大的組分。由室溫至350攝氏度溫度範圍可調節的紅外燈加熱。腔室為高通量而設計，一次最多可處理800個基板，視腔室大小而定。它的頂部有一個石英窗口，可以查看沈積過程。源室用於引入沈積所需的反應物，位於反應室下方。它含有一個噴射器，加熱到250攝氏度，讓反應物汽化。加熱的反應物蒸氣從源室進入反應室，在那裏它們被沈積到底物上。參數室用於監測和控制沈積過程，溫度從室溫控制到250攝氏度。最後，受控大氣室在沈積過程中管理大氣室中的大氣，可以由惰性大氣轉換為活動性大氣。這對於取得一致的高質量和可重復的結果非常重要。APPLIED MATERIALS Centura Chamber是一種先進的CVD反應器，設計用於薄膜沈積應用的高性能和可重復性。通過對沈積過程提供多用途和精確的控制，腔室已成為世界各地設計師的寶貴工具。