二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL #293660732 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for Endura CL是一種專門設計的反應器，用於在半導體制造過程中應用化學氣相沈積或CVD。這個高性能的腔室提供了各種各樣的工藝能力，使芯片制造商能夠創造出可靠和耐用的半導體。該反應器室具有強烈的氣流設備和先進的熱控制系統，能夠對沈積過程進行最佳和精確的控制。這些相同的系統可實現精確的溫度和壓力控制、化學一致性和最小的汙染。不銹鋼腔室還采用了隔離雙通風室設計，不需要鼓風機。這降低了壓力。AMAT Chamber for Endura CL也使用多區域流程，確保每個流程區域都正確配備了合適的環境、用品和控制協議。這確保了均勻的沈積速率和可預測的過程。該室還采用了先進的淋浴頭設計，以確保均勻的平板平行和氣態分布，以及用於均勻分布前體的16節等離子弧噴嘴。該腔室的總腔室大小為6.8（長）x 5.2（寬）x 6（高）英尺,重量為9,500磅。它可以現場安裝在兩種備用配置中,即串聯配置或獨立配置,並設計用於通過多個端口和診斷面板提供高級訪問,方便維修。應用材料室的Endura CL已證明其安全與獨有的壓力下增強安全系統。這樣可以防止腔室超壓事件離開操作範圍，以及保護真空單元和腔室組件。Chamber for Endura CL的整體設計使其成為高產芯片制造的寶貴工具。其精密的設計和技術使它成為化學氣相沈積過程中最容易被擊敗的機器。